內(nèi)平面孔徑儀使用兩個(gè)或三個(gè)點(diǎn)來(lái)定位并直接測(cè)量孔徑，這也是測(cè)量孔徑的常用方法。根據(jù)被測(cè)孔徑的精度等級(jí)和數(shù)量，可以使用游標(biāo)卡尺，工具顯示鏡，萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀，水平測(cè)長(zhǎng)儀，水平光學(xué)測(cè)厚儀，氣動(dòng)動(dòng)量?jī)x等通用長(zhǎng)度測(cè)量工具；也可以使用特殊的孔徑測(cè)量工具，例如內(nèi)徑千分尺，內(nèi)徑百分表和百分表，內(nèi)徑千分尺，電子塞規(guī)和基于氣動(dòng)光學(xué)和電原理的孔徑計(jì)。
 

　　1.帶有杠桿機(jī)構(gòu)的測(cè)量孔：此方法通常用于手持式孔徑測(cè)量工具，例如內(nèi)徑百分表，機(jī)械或電氣內(nèi)徑千分尺等。內(nèi)平面孔徑儀測(cè)得的孔徑尺寸和校準(zhǔn)環(huán)規(guī)之間的差光圈通過(guò)杠桿機(jī)構(gòu)從百分表，機(jī)械或電氣千分尺讀出。這種測(cè)孔工具的測(cè)量孔徑范圍一般為10?800mm，內(nèi)徑千分尺的測(cè)量精度可以達(dá)到3?5μM。

　　2.使用楔形原理測(cè)量孔：這種方法也常用于手持式孔測(cè)量工具中。用于測(cè)量小孔的內(nèi)徑百分表可以測(cè)量小至0.5毫米的孔。當(dāng)測(cè)得的孔壓緊探針并用圓錐體移動(dòng)測(cè)量桿時(shí)，可以從百分表或千分尺讀出孔的誤差。三點(diǎn)定位方法適用于測(cè)量直徑大于3mm的孔。當(dāng)測(cè)量桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，測(cè)量桿在固定螺母的作用下向前移動(dòng)，三個(gè)探頭通過(guò)圓錐形向外移動(dòng)，圓錐體在測(cè)量桿的頂部帶有螺旋凸起，并與被測(cè)孔接觸。從固定套筒和差動(dòng)缸上的刻度上讀出測(cè)得的孔徑，有三個(gè)用于測(cè)孔的爪式千分尺。

　　3.根據(jù)氣動(dòng)，光學(xué)和電動(dòng)原理，必須在接近20℃的恒定溫度下進(jìn)行內(nèi)平面孔徑儀的高精度孔徑測(cè)量。光學(xué)干涉孔徑計(jì)的孔徑測(cè)量范圍為1?50mm，精度為±0.5μM.